測量按鈕開關(guān)一般用一塊極板組成電容器，另一塊作為開關(guān)外殼。該外殼一般測量時接地，也有連接到裝置機殼上。當(dāng)有物體移動到接近開關(guān)上時，無論其是導(dǎo)體還是不導(dǎo)體都會因其靠近而改變電容之介電常數(shù)，進(jìn)而改變電容量，令與測量頭連接之電路狀態(tài)改變，并因此而控制開關(guān)之通斷。這類接近開關(guān)所探測的對象不限于導(dǎo)體、可絕緣液體或者粉狀物。

 按鈕開關(guān)是一種磁敏元件。利用霍爾元件做成的開關(guān)，叫做霍爾開關(guān)。當(dāng)磁性物件移近霍爾開關(guān)時，開關(guān)檢測面上的霍爾元件因產(chǎn)生霍爾效應(yīng)而使開關(guān)內(nèi)部電路狀態(tài)發(fā)生變化，由此識別附近有磁性物體存在，進(jìn)而控制開關(guān)的通或斷。這種接近開關(guān)的檢測物件必須是磁性物體。 
 
利用光電效應(yīng)做成的開關(guān)叫光電開關(guān)。將發(fā)光器件與光電器件按一定方向裝在同一個檢測頭內(nèi)。當(dāng)有反光面（被檢測物體）接近時，光電器件接收到反射光后便在信號輸出，由此便可 "感知"有物體接近。
 
用能感知溫度變化的元件做成的開關(guān)叫熱釋電式接近開關(guān)。這種開關(guān)是將熱釋電器件安裝在開關(guān)的檢測面上，當(dāng)有與環(huán)境溫度不同的物體接近時，熱釋電器件的輸出便變化，由此便可檢測出有物體接近。